“潔凈室”是指為清除一定空間范圍內(nèi)空氣中的顆粒、有害空氣、細(xì)菌等污染物，將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度及分布、噪聲、振動(dòng)、照明、靜電等控制在一定需求范圍內(nèi)而專門(mén)設(shè)計(jì)的房間。也就是說(shuō)，無(wú)論外界空氣條件如何變化，房間都能具有保持原有設(shè)定要求的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能的特性。

潔凈室最重要的功能是控制產(chǎn)品(如硅片等)所處環(huán)境的潔凈度、溫度和濕度。)都是暴露的，這樣產(chǎn)品就可以在一個(gè)良好的環(huán)境空間里生產(chǎn)制造，我們稱之為“潔凈室”。

潔凈室控制：可以防止灰塵顆粒的產(chǎn)生；以及溫度和濕度控制；消除有害氣體；防止靜電。

潔凈室的分類

1.亂流：空氣從空調(diào)箱通過(guò)潔凈室的風(fēng)管和空氣過(guò)濾器進(jìn)入潔凈室，由潔凈室兩側(cè)的隔斷墻板或高架地板回流。氣流以非線性方式運(yùn)動(dòng)，并處于不規(guī)則的湍流或渦流狀態(tài)。

2.地層流：水平層流：水平空氣從過(guò)濾器一個(gè)方向吹出，由對(duì)面墻上的回風(fēng)系統(tǒng)送回，粉塵隨風(fēng)向外排出，下游側(cè)污染普遍嚴(yán)重；垂直氣流：房間天花板完全覆蓋ULPA過(guò)濾網(wǎng)，空氣自上而下吹，可以獲得更高的潔凈度，過(guò)程中或工作人員。

3.復(fù)合型是湍流和層流的結(jié)合或組合，可以提供局部超凈空氣。